特點：無色至淡黃色透明的液體，具有刺激性氣味和腐蝕，蝕刻速度快。    

  功能：用于銅制程蝕刻。    

  主要種類：銅蝕刻液、銅鈦蝕刻液、銅鉬蝕刻液、銅鉬鈮蝕刻液。